德国WELCH真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲,真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。 ⑴真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。 ⑵了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。 ⑶真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。 ⑷正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。 ⑸真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。 ⑹正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg(绝压),在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线),其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内最为适宜,而不能让它在25~30mmHg下长期工作。 ⑺真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。 ⑻真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度,选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg,最好能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。 ⑼真空泵的价格、运转及维修费用。 德国WELCH真空泵机械安装 ⑴真空泵应安装在地面结实坚固的场所,周围应留有充分的余地,便于检查、维护、保养。 ⑵真空泵底座下应保持地基水平,底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装,确保真空泵运转平稳,振动小。 ⑶真空泵与系统的连接管道应密封可靠,对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶,对小真空泵可采用真空胶管连接,管道管径不得小于真空泵吸气口径,且要求管路短而少弯头。(焊接管路时应清除管道中焊渣,严禁焊渣进入真空泵腔。) ⑷在连接管路中,用户可在真空泵进气口上方安装阀门及真空计,随时可检查真空泵的极限压力。 ⑸按电动机标牌规定连接电源,并接地线和安装合适规格的熔断器及热继电器。 ⑹真空泵通电试运转时,须取下电机皮带,确认真空泵转向符合规定方向方可投入使用,以防真空泵反转喷油。(转向按防护罩指示方向) ⑺对于有冷却水的真空泵,按规定接通冷却水。 ⑻如真空泵口安装电磁阀时,阀与真空泵应同时动作。 ⑼当真空泵排出气体影响工作环境时,可在排气口装接管道引离或装接油雾过滤器。
德国WELCH真空泵性能参数 参数定义 真空泵的极限压强 泵的极限压强单位是Pa,是指泵 在入口处装有标准试验罩 并按规定条件工作,在不引入气体正常工作的情况下,趋向稳定的压强。 真空泵的抽气速率 泵的抽气速率单位是m3/s或l/s,是指泵装有标准试 验罩,并按规定条件工作时,从试验罩 流过的气体流量与在试验罩位置测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。 真空泵的抽气量 真空泵的抽气量 单位是Pam3/s或Pal/s。是指 泵入口的气体流量。 真空泵的起动压强 真空泵的起动压强单位为Pa,它是指泵无损坏起动并有抽气作用 时的压强。 真空泵的前级压强 真空泵的前级压强 单位是Pa,它是指排气压强 低于一个大气压的真空泵的出口压强。 真空泵的最大前级压强 真空泵口最大前级压强单位是Pa,它是指超过了 能使泵损坏 的前级压强。 真空泵的最大工作压强 真空泵的最大工作压强单位是Pa,它是指对应最大抽气量 的入口压强。在此压强下,泵能连续工作而不恶化或损坏。 真空泵的压缩比 压缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。 真空泵的何氏系数 泵抽气通道面积上的实际抽速 与该处按分子泻流计算的理论抽速 之比。 真空泵的抽速系数 泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。 真空泵的返流率 泵的返流率 单位是g/cm2.s。它是指 泵按规定条件工作时,通过泵入口单位面积的泵流质量流率。 水蒸气允许量 水蒸气 的允许量单位是kg/h,它是指泵在正常环境条件下,气镇泵 在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。 最大允许水蒸气入口压强 最大允许水蒸气入口压强 单位是Pa。它是指 在正常环境条件下,气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的最高入口压强。
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