什么是EGE流量控制器，有哪些优点呢？ 由于质量流量控制器通过测量流体的质量流量来控制流量，因此无需因环境温度、工作压力等的变化而进行修正，实现了高精度、稳定的流体测控。可能的，这是一种可能的装置。在流量计、针阀等基于体积流量的流量控制中，当需要一定程度的准确流量时，需要根据温度、压力等的变化进行修正。质量流量控制器/质量流量计包括半导体和平板显示器等需要高精度流量测量和控制的领域，以及分析、燃料电池、液晶、有机EL、生物技术、文化、食品、环境测量、广泛应用于控制、工厂设备、实验设备等所有工艺和设备。Fcon的质量流量控制器/质量流量计采用追求基本性能的*技术，使其可用于广泛的领域，同时降低成本，提高产品性能和可靠性，设计专门从事基本功能的低价产品.我的目标是制造。EGE质量流量控制器的原理与结构 如下图所示，质量流量控制器的基本结构由流量传感器、旁路、阀门和控制电路组成。
常用的是所谓的热传感器，它通过使电流通过缠绕在不锈钢毛细管上游和下游侧的电阻器来加热热量。当没有气体流动时，上下游电阻器的热量保持平衡，流量输出信号显示为零。
从入口进入的气体被分流到传感器并旁路。当气体流入传感器时，上游侧和下游侧的电阻之间产生温差，失去热平衡，传感器的温度分布发生变化。这种变化被桥式电路捕获并作为流量输出信号取出。比较从外部输入的流量设定信号和传感器的流量输出信号，流量控制阀进行PID（比例、积分、微分）操作，使各自的信号电平匹配，阀门自动换阀。由于阀门的开度是微调的，因此可以在始终设定稳定流量的条件下控制流量。 EGE紧凑型流量控制器主要用于微小量程的气体的精密测量和控制。主要是测量和控制30升每分钟到300升每分钟这个量程范围，输入输出信号可选：0-5V或4-20mA，供电为24V单电源供电(代替了市面上大多数±15V供电，解决了还需要客户在单独配电源的问题)。 产品精度高、响应快、稳定性好、性价比高的自动测控产品，其流量精度不受气体压力、环境温度的影响，适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。产品系列完整，可选择数字式、模拟式、普通型、高精度型、耐高压型，超大流量型。
本流量计采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度和压力补偿)，将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的流量测量电压与设定电压进行比较，再将差值信号放大后去控制调节阀，通过闭环控制来控制通过的流量，并使之与设定的流量相等，分流器决定主通道的流量。
紧凑型质量流量控制器主要优点是什么?下面让我们继续往下看
(1)测量控制的自动化
可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。对本仪表而言，还可以实现流量的自动控制。通常，模拟的MFC/MFM输入输出信号为0~+5V或4~20mA，数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口，能非常方便地与计算机连接，进行自动控制。
(2)定量控制流量
可以控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。
(3)适用范围宽 有很宽的工作压力范围，我们的产品可以从真空直到10MPa;可以适用于多种气体介质(包括一些腐蚀性气体，如HCL);有很宽的流量范围，流量显示的分辨率可达满量程的0.1%，流量控制范围是满量程的2~100%(量程比为--50:1)，因此在很多领域得到广泛应用。
(4)流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。
对于多数流量测控系统而言，很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计，压力及温度的波动将导致较大的误差;对于紧凑型质量流量控制器则一般可以忽略不计。 |
